• 设备产能

• ≥12PPM

• 产品良率

• 99.5%（由设备造成的损坏）

• 设备故障率

• ≤2%（由设备造成的故障）

• 稼动率

• ≥98%

• 氦气检测时间

• ≤5s

• MTBF（平均无故障时间）

• ≥4小时（不计＜2min的报警）

• 不良品检测

• 漏杀率=0%，过杀率≤0.5%